光切法顯微鏡以光切法測量零件加工表面的微觀不平度。其能判別國家標準GB1031-68所規(guī)定▽3-▽9級表面光潔度（表面粗糙度）對于表面劃痕、刻線或某些缺陷的深度也可用來進行測量。光切法特點是在不破壞表面的關況下進行的。是一種間接測量方法。即要經(jīng)過計算后才能確定紋痕的不平度。