石墨碳管爐（Graphite Tube Furnace）是一種以石墨材料為核心加熱元件的高溫爐，廣泛應(yīng)用于需要高溫、惰性氣氛或真空環(huán)境的材料處理領(lǐng)域。
石墨碳管爐的主要應(yīng)用領(lǐng)域
1. 材料科學(xué)研究
- 高溫?zé)�結(jié)：用于陶瓷、金屬粉末、碳化硅（SiC）、氮化硅（Si₃N₄）等材料的無(wú)壓燒結(jié)。
- 碳材料處理：石墨烯、碳納米管（CNT）、碳纖維的高溫石墨化（2000~3000℃）。
- 半導(dǎo)體材料制備：碳化硅單晶生長(zhǎng)、高純硅的提純。
2. 冶金與粉末冶金
- 難熔金屬燒結(jié)：鎢（W）、鉬（Mo）、鉭（Ta）等金屬的粉末冶金燒結(jié)。
- 硬質(zhì)合金：WC-Co（碳化鎢-鈷）刀具材料的燒結(jié)。
3. 新能源與電池材料
- 鋰電負(fù)極材料：石墨、硅碳（Si-C）負(fù)極的高溫碳化處理。
- 光伏行業(yè)：多晶硅、單晶硅的熔煉與提純。
4. 化學(xué)氣相沉積（CVD）
- 金剛石薄膜：在高溫下通過(guò)CVD法沉積金剛石涂層。
- 碳化硅外延：用于半導(dǎo)體行業(yè)的SiC外延生長(zhǎng)。
5. 實(shí)驗(yàn)室與小規(guī)模生產(chǎn)
- 高校與科研機(jī)構(gòu)：用于新材料的高溫合成、熱處理實(shí)驗(yàn)。
- 小批量生產(chǎn)：適用于高附加值材料的試制。

石墨碳管爐的核心技術(shù)特點(diǎn)
1. 高溫性能
- 溫度范圍：通�？蛇_(dá) 2000~3000℃（取決于石墨管質(zhì)量），適用于超高溫實(shí)驗(yàn)。
- 升溫速率：快速升溫（10~30℃/min），可編程控溫曲線。
2. 加熱系統(tǒng)
- 石墨加熱元件：
- 采用高純等靜壓石墨管，耐高溫、抗氧化（需在真空或惰性氣氛下使用）。
- 發(fā)熱均勻，熱效率高，適用于高精度實(shí)驗(yàn)。
- 多溫區(qū)設(shè)計(jì)（可選）：提高溫度均勻性（±5℃以內(nèi)）。
3. 氣氛控制
- 真空系統(tǒng)：極限真空可達(dá) 10⁻³~10⁻⁵ Pa，防止材料氧化。
- 惰性氣氛：可通 Ar、N₂、He 等保護(hù)氣體，適用于活性材料處理。
- 還原性氣氛：如 H₂，用于金屬氧化物還原。
4. 爐體結(jié)構(gòu)
- 雙層水冷爐殼：確保設(shè)備安全運(yùn)行，防止外部過(guò)熱。
- 高純石墨隔熱層：減少熱損失，提高能效。
- 觀察窗（可選）：便于實(shí)驗(yàn)過(guò)程監(jiān)控。
5. 智能控制系統(tǒng)
- PLC/觸摸屏控制：可存儲(chǔ)多組工藝曲線，支持自動(dòng)升溫、保溫、降溫。
- 數(shù)據(jù)記錄：實(shí)時(shí)記錄溫度、氣壓等參數(shù)，支持導(dǎo)出分析。
6. 安全保護(hù)
- 過(guò)溫保護(hù)：防止超溫?fù)p壞設(shè)備。
- 斷水/斷電保護(hù)：避免突發(fā)事故導(dǎo)致設(shè)備損壞。
-氣體流量監(jiān)測(cè)：防止氣氛異常影響實(shí)驗(yàn)結(jié)果。